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? 本報記者 張偉

11月4日，在西安市舉行的2025硬科技創(chuàng)新大會光子產(chǎn)業(yè)高峰會議上，陜西光電子先導院總經(jīng)理楊軍紅宣布光電子先導院建設的“8英寸先進硅光集成技術創(chuàng)新平臺”（簡稱“8英寸硅光平臺”）已正式通線。

楊軍紅表示，作為我國西北地區(qū)首條硅光中試線，8英寸硅光平臺的正式通線，不僅填補了區(qū)域硅光芯片中試領域空白，更成為陜西“追光計劃”實施以來的標志性成果，將作為陜西省打造千億元級光子產(chǎn)業(yè)集群的核心支點，為“追光計劃”從藍圖邁向?qū)嵺`注入關鍵動力。

構(gòu)筑產(chǎn)業(yè)躍遷核心支點

自2021年陜西“追光計劃”啟動以來，該省光子產(chǎn)業(yè)已實現(xiàn)跨越式發(fā)展，企業(yè)數(shù)量攀升至370多家，產(chǎn)業(yè)規(guī)模從150億元躍升至365億元，初步構(gòu)建“材料—芯片—器件—系統(tǒng)”的完整產(chǎn)業(yè)鏈條。2023年，該省升級啟動的“追光計劃——躍遷行動”，更以“一核兩翼+一園三區(qū)”布局明確發(fā)展路徑，西安高新區(qū)作為核心承載區(qū)，集聚光子芯片園、光子制造園等特色載體，而陜西光電子先導院正是這一布局中的“創(chuàng)新策源中樞”。

“8英寸硅光平臺的通線，補全了陜西省在硅光芯片中試領域的短板。”楊軍紅表示，作為“追光計劃”的核心支撐平臺，陜西光電子先導院已累計投入約15億元構(gòu)建“6英寸化合物芯片+8英寸硅光芯片”雙中試平臺，此前6英寸化合物平臺已服務50余家企業(yè)，如今硅光平臺的加入，將與西安科學園的先進阿秒激光設施、光子傳感園等產(chǎn)業(yè)化載體形成聯(lián)動，為“追光計劃”培育千億元級集群提供從基礎研究、中試驗證到量產(chǎn)落地的全鏈條支撐。

數(shù)據(jù)顯示，“追光計劃”推進4年來，陜西光電子先導院已解決100余家初創(chuàng)企業(yè)“研發(fā)難、流片難”的問題。

硬核平臺破解行業(yè)困境

作為AI算力、智能駕駛、量子通信等前沿領域的核心支撐，硅光技術目前正處于技術突破與應用落地的關鍵期，但其產(chǎn)業(yè)發(fā)展長期受限于中試資源過于集中的困境。楊軍紅介紹稱，全球硅光中試資源多掌握在國外企業(yè)手中，國內(nèi)企業(yè)依托國外平臺流片需支付高昂費用，且面臨流片周期長、產(chǎn)能優(yōu)先供給受限等問題，自建生產(chǎn)線則需巨額設備投入，很多中小企業(yè)和科研團隊望而卻步。

陜西光電子先導院的8英寸硅光平臺，正是破解這一困境的“硬核方案”。該平臺總投資7.5億元，于2023年年底啟動建設。截至2025年9月末，該平臺已完成全部場地及硬件設施建設，構(gòu)建起自主可控的先進工藝體系。

值得一提的是，陜西光電子先導院還在會上正式發(fā)布了一款無源SOI（絕緣襯底上的硅）集成超低損耗氮化硅產(chǎn)品的PDK（工藝設計套件）。“這是陜西光電子先導院硅光平臺發(fā)布的首款PDK，預計將于2026年完成有源產(chǎn)品通線，包含高性能調(diào)制器、探測器等核心器件，將加速應用于人工智能、光通信、光計算等領域的產(chǎn)品迭代進程，將大幅縮短光電、硅光客戶的流片周期和研發(fā)成本。”楊軍紅表示。

“1+N模式”構(gòu)建產(chǎn)業(yè)生態(tài)

此次硅光平臺通線，使陜西光電子先導院形成“6英寸化合物芯片+8英寸硅光芯片”的雙中試平臺格局，成為國內(nèi)少數(shù)具備全鏈條中試能力的創(chuàng)新載體。而支撐雙平臺高效運轉(zhuǎn)的正是陜西光電子先導院在國內(nèi)率先提出的“1+N”柔性工程平臺模式。

“‘1’即以‘6英寸化合物平臺+8英寸硅光平臺’為核心的主工藝平臺，承擔資源整合與穩(wěn)定運行的使命——我們將80%資源向中小企業(yè)開放中試流片服務，加速產(chǎn)品市場化；20%資源用于支持前沿創(chuàng)新研發(fā)，孵化突破性技術。”楊軍紅解釋，在此基礎上，“N”個特色工藝平臺將針對磷化銦探測器、砷化鎵射頻器件等細分領域，通過設備共享、技術授權(quán)、聯(lián)合定制研發(fā)等方式，降低企業(yè)初始投入，實現(xiàn)專項突破。

這一模式已初見成效。6英寸化合物平臺自2023年啟用以來，已發(fā)布20余款PDK，為50余家客戶提供全流程服務；8英寸硅光平臺雖剛通線，但已與10余家頭部企業(yè)達成意向合作協(xié)議。深圳瑞識智能科技有限公司董事長汪洋說：“海外代工廠解決不了研發(fā)階段的高度定制化需求，在陜西光電子先導院，排隊等待中試的時間短，速度比在國外做中試快5倍以上。”

“從化合物半導體到硅光集成，我們正以平臺能力躍升支撐新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展。”楊軍紅透露，下一步，陜西光電子先導院將推進異質(zhì)異構(gòu)集成平臺建設，構(gòu)建“化合物半導體+硅光+異質(zhì)異構(gòu)集成”三位一體的平臺架構(gòu)，實現(xiàn)從材料生長、芯片制程、器件封裝到系統(tǒng)測試的全鏈條覆蓋，為光通信、生物傳感、人工智能等前沿領域技術發(fā)展提供關鍵支撐，助力陜西省建設光子產(chǎn)業(yè)高地。